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真空電解爐用于在高真空或特定氣氛下生產高純物資（如單質海棉鈦等）。電解槽及正負極裝置均在工作區(qū)內，整個電解過程在真空及特定環(huán)境下完成，從而保證了產品具有極高的純度。